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激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標準,是迄今公認的高精度、高靈敏度的測量儀器,在高端制造領域應用廣泛。


名稱:激光干涉儀
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SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術于一體,產品采用進口高性能氨氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現高精度、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調理及細分技術,可實現最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環境補償模塊,可實現激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統及軟件技術,支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向導式的操作流程、簡潔化的記錄管理。


SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。

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產品特點

1、精度高

(1)采用激光雙縱模熱穩頻技術,可實現長期穩定性好、抗干擾能力強的激光波長輸出;

(2)采用高精度環境補償單元,可實現波長和材料的手動或自動補償;

(3)干涉鏡與主機分離設計,避免干涉鏡受熱影響,確保干涉光路穩定可靠。

2、功能廣

(1)可實現線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參量的精密測量;

(2)配合WR50自動精密轉臺,可實現回轉軸的角度測量與校準;

(3)適用于測量直線導軌的定位精度、重復定位精度和反向間隙等:

(4)可根據檢測程序自動生成數控機床的運行程序;

(5)可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據。

3、軟件強

(1)友好的人機界面,向導式的操作流程:

(2)豐富的應用功能模塊,強大的分析功能模塊;

(3)簡潔化的記錄管理,且支持企業專屬模板定制;

(4)支持中文簡體、中文繁體、英文、韓文和俄文界面,

4、標準多

內置14份標準,包含GB、IS0、英標、美標、德標、日標等國內外通用標準。可依據各種不同的機床標準分析處理數據,并可打印相應的曲線圖和數據報告。


線程測量基本配置


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功能模塊

線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉臺

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經典應用案例


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